Molecularly tailored SAMs for Ru interconnects: high-temperature stability, suppressed metal diffusion, and enhanced adhesion
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来源：
Nature
关键字：
generative chemistry
发布时间：
2025-11-30 07:36
摘要：
该研究探讨了自组装单分子膜(SAMs)在钌(Ru)互连技术中的应用，强调了其在高温稳定性、金属扩散抑制和增强附着力方面的优势。通过多种实验技术验证了SAM的功能化和性能，尤其是2-HBITES在高温下的优越表现，显示出其在先进互连技术中的潜力。
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关键证据
研究展示了SAMs在高温下的稳定性和金属扩散抑制能力。
2-HBITES在抑制Ru扩散方面表现最佳，延迟至800°C。
研究提供了XPS证据，显示SAM在高温下的保留。
真实性检查
否
AI评分总结
该研究探讨了自组装单分子膜(SAMs)在钌(Ru)互连技术中的应用，强调了其在高温稳定性、金属扩散抑制和增强附着力方面的优势。通过多种实验技术验证了SAM的功能化和性能，尤其是2-HBITES在高温下的优越表现，显示出其在先进互连技术中的潜力。